一种生产高纯乙硅烷的系统及其方法

摘要

本发明公开生产高纯乙硅烷的系统和方法。硅化镁和氯化铵加料装置与反应釜第1进料口相连，液氨储槽与反应釜第2进料口相连，冷凝器氨回流口与反应釜第2进料口相连，反应釜硅烷和乙硅烷出口与冷凝器进气口相连，冷凝器出气口与粗硅烷提纯装置进口相连，粗硅烷提纯装置出口分别与第一阀门的一端和第二阀门的一端相连，第二阀门另一端与乙硅烷液化装置进口相连，乙硅烷液化装置出口分别与第三阀门的一端和第四阀门一端相连，第四阀门另一端与乙硅烷提纯装置进口相连，第一阀门另一端和第三阀门另一端与硅烷提纯装置的进口相连。无需投入新的生产原料，增加大型生产设备，在硅烷生产线上增加乙硅烷的液化和提纯装置就能够形成高纯乙硅烷的生产能力。

主权项

一种生产高纯乙硅烷的系统，其特征在于包括硅化镁和氯化铵加料装置(1)、液氨储槽(2)、反应釜(3)、冷凝器(4)、粗硅烷提纯装置(5)、硅烷深提纯装置(6)、乙硅烷液化装置(7)、乙硅烷提纯装置(8)、第一阀门(9)、第二阀门(10)、第三阀门(11)和第四阀门(12)；硅化镁和氯化铵加料装置(1)与反应釜(3)第1进料口相连，液氨储槽(2)与反应釜(3)第2进料口相连，冷凝器(4)氨回流口与与反应釜(3)第2进料口相连，反应釜(3)硅烷和乙硅烷出口与冷凝器(4)进气口相连，冷凝器(4)出气口与粗硅烷提纯装置(5)进口相连，粗硅烷提纯装置(5)出口分别与第一阀门(9)的一端和第二阀门(10)的一端相连，第二阀门(10)的另一端与乙硅烷液化装置(7)进气口相连，乙硅烷液化装置(7)出气口分别与第三阀门(11)的一端和第四阀门(12)的一端相连，第四阀门(12)的另一端与乙硅烷提纯装置(8)进气口相连，第一阀门(9)另一端和第三阀门(11)的另一端与硅烷深提纯装置(6)的进气口相连。