高体积分数的铝碳化硅复合材料反射镜的制备方法

摘要

高体积分数的铝碳化硅复合材料反射镜的制备方法。包括（1）用体积分数为70%的铝碳化硅复合材料制备反射镜镜坯；（2）在平面磨床用180目金刚石砂轮粗磨；（3）镜坯的第一次热处理，（4）镜坯的精磨：在平面磨床用2000目金刚石砂轮精磨镜坯的基准面和另一面；（5）进行稳定化处理；（6）镜坯的再研磨：（7）镜坯的化学镀镍磷合金，（8）第二次热处理，在温度350±20℃保温60分钟，随炉冷却；（9）光学研磨到Ra0.012μm。本发明制备的反射镜反射率达97%，反射镜面无光圈；热膨胀系数小于7.5×10-6/k，热导率为180W/m.K。

主权项

高体积分数的铝碳化硅复合材料反射镜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤:（1）用体积分数为70%的铝碳化硅复合材料制备反射镜镜坯；（2）镜坯的粗磨：在平面磨床用180目金刚石砂轮粗磨；（3）镜坯的第一次热处理，在温度为300～350℃保温60分钟，随炉冷却；（4）镜坯的精磨：在平面磨床用2000目金刚石砂轮精磨镜坯的基准面和另一面；（5）镜坯的稳定化处理：①将镜坯放入加热炉内，在150～250℃，保温3～5小时；②快速将镜坯取出放入保温桶中，加入‑180～220℃液氮，并高出镜坯顶部25～40mm,保温1～3小时；③取出镜坯再放入加热炉内，在150～250℃，保温3～5小时；④按照②步和③步重复操作一次，随炉冷却；（6）镜坯的再研磨：用研磨机和0.5～1μm的Al2O3磨料对镜坯进行研磨，使平面度达到0.008～0.01 mm，表面粗糙度达到Ra0.02μm；（7）镜坯的化学镀镍磷合金，控制PH为3.5～4.0，施镀温度为80～85℃，镀速为3.5～5.0μm/hr；达到镀层100～120μm；（8）第二次热处理，在温度350±20℃保温60分钟，随炉冷却；（9）光学研磨：采用研磨机和0.3～0.5μm的Al2O3磨料对反射镜镀层进行研磨，达到Ra0.012μm。