一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置

摘要

一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置，属于高精度光学元件干涉检测技术领域，该装置包括镜体组件，所述镜体组件包括：被测物、夹片和支撑球，所述被测物固定在夹片和支撑球中间，该装置还包括：支撑组件；所述支撑组件包括：两个支撑销轴、两个支撑轴套和支撑盘，所述一个支撑销轴穿过一个支撑轴套组成一个运动副，两个支撑销轴固定在支撑盘里。镜体组件的支撑球放置于支撑组件的两个支撑轴套上，与支撑组件接触。本装置能够实现与运动学支撑结构完全一致的支撑效果，采用了滚动摩擦代替滑动摩擦的方式，相关自由度方向摩擦系数极低，保证在光学元件面形检测过程中，能够实现极高的面形重复性，被支撑的光学元件受热和振动影响极小。

主权项

一种用于高精度面形检测的光学元件支撑装置，该装置包括镜体组件(3)，所述镜体组件(3)包括：被测物(7)、夹片(8)和支撑球(9)，被测物(7)固定在夹片(8)和支撑球(9)中间；其特征在于，该装置还包括支撑组件(5)和支撑盘(6)；所述支撑组件(5)包括两个支撑销轴(10)和两个支撑轴套(11)，所述每个支撑销轴(10)对应穿过一个支撑轴套(11)组成一个运动副，两个支撑销轴(10)固定在支撑盘(6)内；镜体组件(3)通过支撑球(9)放置于两个支撑轴套(11)上而与支撑组件(5)接触。