| 发明名称 | 一种测量微蚀速率的方法 | ||
| 摘要 | 本发明实施例提供一种测量微蚀速率的方法，以降低测量成本和提高测量精度。所述方法包括以下次序的步骤：(1)测量待测铜板的面积S；(2)获取所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM以及记录所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT；(3)根据所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM和所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT，计算微蚀速率。本发明实施例提供的方法操作简便，在降低测量成本的同时可以精确测量出微蚀速率，如此，可以通过控制微蚀时间严格控制微蚀量，比较容易达到印制电路板或基板制作中的工艺要求。 | ||
| 申请公布号 | CN102507365A | 申请公布日期 | 2012.06.20 |
| 申请号 | CN201110339917.0 | 申请日期 | 2011.11.01 |
| 申请人 | 深南电路有限公司 | 发明人 | 范铮;刘良军;杨智勤 |
| 分类号 | G01N5/04(2006.01)I | 主分类号 | G01N5/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人 | 彭愿洁;李文红 |
| 主权项 | 一种测量微蚀速率的方法，其特征在于，所述方法包括以下次序的步骤：(1)测量待测铜板的面积S；(2)获取所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM以及记录所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT；(3)根据所述待测铜板置入微蚀液前后的质量差ΔM和所述待测铜板置入微蚀液的时间ΔT，计算微蚀速率。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区侨城东路99号 | ||