感应耦合的射频电源

摘要

本发明公开了一种用于实现包括功率放大器的电源的系统和方法，所述功率放大器产生具有可调节工作频率的射频功率信号。该功率放大器还产生由射频功率信号衍生出的参考相位信号。阻抗匹配向具有可变共振条件的等离子线圈提供射频功率信号。相位探针位于等离子线圈的附近以便产生与可调节工作频率相对应的线圈相位信号。此后，基于参考相位信号与线圈相位信号之间的相位关系，锁相环产生射频驱动信号。锁相环把射频驱动信号提供给功率放大器以控制可调节工作频率，以便此后可调节工作频率对可变共振条件进行追踪。

主权项

一种用于实现电源的系统，包括：功率放大器，用于产生具有可调节工作频率的射频功率信号，所述功率放大器还产生从所述射频功率信号中衍生的参考相位信号；阻抗匹配，向具有可变共振条件的等离子线圈提供所述射频功率信号；相位探针，邻近于所述等离子线圈以产生相应于所述可调节工作频率的线圈相位信号；以及锁相环设备，用于向所述功率放大器产生驱动信号以控制所述可调节的工作频率，所述驱动信号基于所述参考相位信号和所述线圈相位信号之间的相位关系，所述可调节的工作频率然后追踪所述的可变共振条件。