一种微结构阵列表面的微细、精密和镜面一体化磨削方法

摘要

本发明公开了一种微结构阵列表面的微细、精密和镜面一体化磨削方法。该方法将金刚石砂轮刀具固定在机床的砂轮轴上，待加工工件固定在水平面上；金刚石砂轮刀具随砂轮轴高速旋转，砂轮行进方向垂直于砂轮轴轴向方向，金刚石砂轮刀具的V形尖角对工件表面进行磨削，将砂轮轴水平转动，对工件表面再次磨削，由此将工件表面加工成微结构阵列表面；加工工件装夹位置不变，更换金刚石砂轮，金刚石砂轮沿相同的交叉直线行进，对微结构阵列表面进行镜面加工。该方法可以加工硅、玻璃、陶瓷、硬质钢等难加工材料，加工微结构无毛刺、表面粗糙度可达纳米级。

主权项

一种微结构阵列表面的微细、精密和镜面一体化磨削方法，其特征在于包括如下步骤：（1）将金刚石砂轮刀具固定在机床的砂轮轴上，待加工工件固定在水平面上；（2）成型加工：金刚石砂轮刀具随砂轮轴高速旋转，砂轮行进方向垂直于砂轮轴轴向方向，金刚石砂轮刀具的V形尖角对工件表面进行磨削，完成间距相等平行分布的第一沟槽加工；将砂轮轴水平转动，对工件表面再次磨削，完成间距相等平行分布的第二沟槽加工；由此将工件表面加工成微结构阵列表面；微结构阵列高度为10~800微米，微结构面夹角为30~120度；金刚石砂轮每次进给深度为10~50微米，累计进给深度10~800微米，进给速度为1~3米/分；（3）镜面加工：步骤（2）中加工工件装夹位置不变，金刚石砂轮沿第一沟槽、第二沟槽行进，对微结构阵列表面进行镜面加工；进给速度为0.1~0.6米/分，开始，砂轮每次进给深度为5~15微米，累计进给深度150微米，然后，砂轮每次进给深度为1~3微米，累计进给深度3~10微米，零磨削4~7次。