发明名称 |
激光直描装置以及描画方法 |
摘要 |
本发明提供一种不管感光材料的种类如何都能够高精度地决定背面侧相对于表面侧的位置的激光直描装置以及描画方法。本发明的激光直描装置,使激光束(5a)偏向主扫描方向(X轴方向)的同时使载置于工作台(12)上的被描画体(10)向副扫描方向(Y轴方向)移动而将图形描画到被描画体(10)的表面上,以前端从工作台(12)的表面仅突出预定的距离(g)的方式将中空销(20)配置在工作台(12)上,通过使被描画体(10)吸附在工作台(12)上而在被描画体(10)的背面上形成有底的凹部(中空销20的前端轨迹)。并且在背面上描画图形时以凹部为基准进行描画。 |
申请公布号 |
CN101382740B |
申请公布日期 |
2012.06.13 |
申请号 |
CN200810210444.2 |
申请日期 |
2008.08.15 |
申请人 |
日立比亚机械股份有限公司 |
发明人 |
内藤芳达;铃木光弘;加藤友嗣 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G02B26/10(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
北京银龙知识产权代理有限公司 11243 |
代理人 |
张敬强 |
主权项 |
一种激光直描装置,使激光束偏向主扫描方向的同时使载置于工作台上的被描画体向副扫描方向移动而将图形描画到上述被描画体的表面上,其特征在于,在上述工作台上设置在上述被描画体的背面的图形配置区域以外的位置上形成多个能够被摄像机拍摄到的有底凹部的凹部形成机构。 |
地址 |
日本神奈川县 |