关闭真空室开口的关闭阀和方法

摘要

本发明涉及一种关闭阀，其放置于形成在真空室中的连通口之间，包括外壳，置于外壳中的阀体，该阀体具有围绕阀体中心轴旋转的轴，驱动阀体使轴旋转的驱动单元，以及用于轴的开启和关闭每个开口的开/关机构。开/关机构包含安装在轴上的片部件，其在轴的径向上向外伸出以关闭每个开口；推动部件，其在轴的半径方向向里或向外推动片部件；连接到片部件的密封部件，与片部件联合并在片部件和所述轴之间形成密封空间，轴含有与密封空间连通的空气通路。

主权项

放置于真空室开口之间并由压缩空气打开和关断的关闭阀，包括：外壳，该外壳包括：各自与真空室开口相对的壁部，以及各自具有细长的连通口的壁部；安置在外壳内部的阀体，该阀体具有轴，该轴围绕阀体的中心轴转动；驱动阀体以使所述轴旋转的驱动单元；和设置在所述轴上的用于开启和关闭真空室的每个开口并由空气操纵的开/关机构，其中，在所述外壳内形成圆柱形空间，所述轴容纳在该空间内以便在其中轴向延伸，所述轴经由一间隙与所述外壳的壁面分隔开地设置，该轴具有在其直径方向上穿透的连通通路，在该连通通路与外壳的每个连通口相对时，该连通通路与每个细长的连通口连通，所述开/关机构设置在所述连通通路的两侧并且沿着所述轴的轴向延伸，所述开/关机构包括：安装在轴上的细长的片部件，其在轴的径向上向外伸出从而关闭每个开口；推动部件，其在轴的径向上向里推动片部件，所述片部件在与每个口抵靠的位置具有圆弧状的外圆周表面，片部件的下表面和固定部件的上表面通过波纹管连通，以便随着片部件的移动而收缩，并在所述片部件和所述轴之间形成密封空间，所述片部件在轴和外壳的壁面之间沿着轴的径向可移动，所述开/关机构包括多个支撑柱和支撑部件，该支撑柱沿着轴的轴向以特定间隔设置，该支撑柱沿着轴的径向延伸以支撑在所述空间内侧的片部件，所述支撑部件设置在轴上，用于在轴的径向上可移动地支撑所述支撑柱，且所述轴形成有与所述密封空间连通的空气通路。