高速、高解析度、三维太阳能电池检查系统

摘要

本发明提供一种光学检查系统和方法。工件运输器以连续不停的方式移动工件(12)。照明器(40)包括光管，并构建成提供第一频闪照明场型式和第二频闪照明场型式。相机(2)的第一阵列(3)和第二阵列(5)布置成提供工件(12)的立体成像。相机的第一阵列(3)构建成以第一照明场产生工件(12)的多个第一图像以及以第二照明场产生工件(12)的多个第二图像。相机的第二阵列(5)构建成以第一照明场产生工件(12)的多个第三图像以及以第二照明场产生工件(12)的多个第四图像。处理装置储存所述多个第一、第二、第三和第四图像中的至少一些图像并提供所述图像到另一个装置。

主权项

一种光学检查系统，包括：工件运输器，构建成以连续不停的方式运输工件；及照明器，构建成提供第一频闪照明场型式和第二频闪照明场型式，所述照明器包括光管，所述光管具有靠近工件的第一端和与所述第一端相对并且从所述第一端隔开的第二端，所述光管还具有至少一个反射侧壁，其中第一端具有出射开口而第二端具有至少一个第二端开口以提供穿过其中对工件的观察；第一相机阵列，构建成对工件进行数字成像，其中第一相机阵列构建成以第一照明场产生工件的多个第一图像以及以第二照明场产生工件的多个第二图像；第二相机阵列，构建成对工件进行数字成像，其中第二相机阵列构建成以第一照明场产生工件的多个第三图像以及以第二照明场产生工件的多个第四图像；其中第一和第二相机阵列构建成提供对工件的立体成像；及操作地连接到照明器和第一及第二相机阵列的处理装置，所述处理装置构建成提供所述多个第一、第二、第三和第四图像中的至少一些到另一装置。