| 发明名称 | 真空传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种真空传感器，包括表面绝缘的衬底以及设置在该衬底上的阳极和阴极微电极，该阳极和阴极微电极与各自的电极导线相连，且阴极上覆盖有一维纳米材料。本发明利用了一维纳米材料具有优异的场发射性能，在较低的直流电压下即可产生较大的电流，既安全又便于测量。 | ||
| 申请公布号 | CN102494837A | 申请公布日期 | 2012.06.13 |
| 申请号 | CN201110391809.8 | 申请日期 | 2011.12.01 |
| 申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 张亚非;回兵;徐航;徐东;魏浩 |
| 分类号 | G01L21/30(2006.01)I | 主分类号 | G01L21/30(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人 | 郑立 |
| 主权项 | 一种真空传感器，包括表面绝缘的衬底以及设置在所述衬底上的阳极和阴极微电极，所述的阳极和阴极微电极与各自的电极导线相连，其特征在于所述的阴极上覆盖有一维纳米材料。 | ||
| 地址 | 200240 上海市闵行区东川路800号 | ||