发明名称 |
一种光纤氢气传感器用氢敏材料及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种光纤氢气传感器用氢敏材料及其制备方法。该薄膜材料包括基底和合金薄膜;基底的材料为金属、半导体或绝缘体材料;合金薄膜材料基本成分为Pd和Y,化学组成为Pd[1-x-y]Y[x]α[y],其中α为Pt、Ag、Au、Ni、Cu、Al、Li和B中的任一种,或者为La、Ru、Ce、Pr、Nd和Pm中的至少一种,0<x≤0.3,0≤y≤0.3;合金薄膜材料厚度2~1000nm。制备方法,首先用感应熔炼或粉末冶金方法预制合金靶,然后通过物理气相层积方法,在基片上制成合金薄膜材料;或者利用多个纯靶材,直接在基片材料上多靶共溅层积,制成合金薄膜材料。光纤氢气传感器具有抗干扰能力强,安全性好,可靠性高的特点。可广泛用于各种需要检测氢气泄露的情况。 |
申请公布号 |
CN102495045A |
申请公布日期 |
2012.06.13 |
申请号 |
CN201110349618.5 |
申请日期 |
2011.11.07 |
申请人 |
华中科技大学 |
发明人 |
刘繄;张冈;陈幼平;宋涵;杨吉祥 |
分类号 |
G01N21/75(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/75(2006.01)I |
代理机构 |
华中科技大学专利中心 42201 |
代理人 |
曹葆青 |
主权项 |
一种光纤氢气传感器用氢敏材料,其特征在于,该薄膜材料包括基底和合金薄膜;所述的基底的材料为金属、半导体或绝缘体材料;所述的合金薄膜材料基本成分为Pd和Y,化学组成为Pd[1‑x‑y]Y[x]α[y],其中α为Pt、Ag、Au、Ni、Cu、Al、Li和B中的任一种,或者为La、Ru、Ce、Pr、Nd和Pm中的至少一种,0<x≤0.3,0≤y≤0.3;所述的合金薄膜材料厚度2~1000nm。 |
地址 |
430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |