一种压电超声振动吸附拾取器

摘要

本发明公开了一种压电超声振动吸附拾取器，包括一内部设有振动腔和振动盘的振动腔体，振动盘上粘接有压电陶瓷片，振动腔体的前端设有与振动腔连通的拾取吸盘，拾取吸盘的后端连通有吸气阀和排气阀，拾取吸盘的前端设有与吸气阀相连通的一个或多个小型弹性空腔。振动腔体与吸气阀、排气阀、振动盘构成封闭的振动腔，振动盘在电源驱动下振动，使得振动腔的体积变化，密闭振动腔内的空气被排入大气，吸盘内形成了负压，从而完成拾取工作。本发明的压电超声振动吸附拾取器，体质轻便、功率容量大、抓取速度快、吸附力变化平稳、生产成本低、对环境污染小，可应用于超薄硅晶片等薄脆材料的上下料、能源动力、信息电子、航空航天及生物工程等较多领域。

主权项

一种压电超声振动吸附拾取器，其特征在于，包括      一振动腔体（6）、振动腔体（6）的内部设有一空间作为振动腔（3），      一振动盘（2），置于振动腔（3）的后端，连接在振动腔体（6）的内部，振动盘（2）的后端设有压电陶瓷片（1），      一拾取吸盘（7），连接在振动腔体（6）的前端，与振动腔（3）连通，拾取吸盘（7）的后端还连通有吸气阀（4）和排气阀（5），拾取吸盘（7）的前端设有一个或多个小型弹性空腔，每个小型弹性空腔都与吸气阀（4）相连通。