发明名称 | 具有反射面的微机械光学元件及其应用 | ||
摘要 | 本发明涉及具有反射面的微机械光学元件,其可以在公知的形式中静电地或电磁地偏转,且可以用于许多应用。本发明的任务是,提供这种元件,其成本低廉,并具有改善的动态变形特性可用。在此,根据本发明的具有反射面的元件通过弹性元件来支承,其中该可偏转元件在相对侧以分别至少两个相互独立的弹性元件而支承。 | ||
申请公布号 | CN1896791A | 申请公布日期 | 2007.01.17 |
申请号 | CN200610098825.7 | 申请日期 | 2006.07.13 |
申请人 | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 | 发明人 | 亚历山大·沃尔特;托马斯·克洛泽 |
分类号 | G02B26/10(2006.01);G02B26/08(2006.01) | 主分类号 | G02B26/10(2006.01) |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 杨生平;杨红梅 |
主权项 | 1.具有反射面的微机械光学元件,其借助静电的或电磁的力可偏转,且借助弹性元件被支承,其特征在于,所述可偏转元件(1)在彼此相对侧上分别以至少两个相互独立的弹性元件(2)而支承。 | ||
地址 | 德国慕尼黑 |