| 主权项 |
一种金刚石线切割高效低成本太阳电池的生产方法，其特征在于，步骤为：步骤1、进行插片：插片时，首先观察硅片的线痕位置，然后按照线痕竖直于花篮进行机器插片或手工插片；步骤2、制绒：制绒时，腐蚀液的质量百分配比为1.5‑1.8%的氢氧化钠、3‑4%的异丙醇、0.15‑0.35%的制绒添加剂以及余量的去离子水，反应时间为10‑20分钟，反应温度为80‑82摄氏度，控制硅片的减薄量为0.3‑0.5克；步骤3、扩散时，保持硅片在石英舟中的位置和在花篮中的位置相同，扩散结束后下片时必须保持硅片和在石英舟上的位置方向的一致性，在承载盒的一边标上特殊记号，使得该条边能够与其他边区别开来，将硅片放入承载盒中时，使石英舟上的硅片的上部分朝向承载盒上有特殊记号的一边所在方向，不可混乱；步骤4、干法刻蚀时，使得硅片在支架上的位置保持固定，刻完后将硅片重新放入承载盒中时，使得硅片的方向和扩散后放入承载盒时的方向相同；步骤5、二次清洗时，硅片在花篮中的方向为：硅片朝向承载盒上特殊记号的部分竖直向上；步骤6、若使用平板式等离子增强化学气相沉积法下片的，承载盒在放置时必须使有特殊记号所在的边缘与花篮上片时硅片的运行方向垂直；若使用管式等离子增强化学气相沉积法下片的，上片时必须保持硅片在石墨舟和花篮中保持相同的竖直方向，下片时，使石墨舟中竖直的硅片的上边缘靠近承载盒有特殊标记的一边；步骤7、将PECVD后的硅片连同承载盒放入印刷机上料台时，保持承载盒有特殊标记的一边和印刷流水线垂直，印刷后经过烧结得到低成本高性能的太阳能电池片。 |
