| 主权项 |
一种在凹形三维曲面上复制微纳结构的方法，其特征是，该方法由以下步骤完成：步骤一、将柔性模板(4)紧密贴到涂覆有高分子薄膜(5)的凹形三维曲面基底表面，然后对所述凹形三维曲面基底表面进行加热，加热温度由室温上升至140℃；步骤二、对步骤一所述的凹形三维曲面基底表面在140℃的温度下加热30分钟，所述高分子薄膜(5)在毛细力的作用下流向柔性模板(4)的空腔；步骤三、将步骤二所述的凹形三维曲面基底表面的温度下降至室温，获得固定的微纳结构形状；步骤四、将步骤一所述的柔性模板(4)和步骤三所述的凹形三维曲面基底表面分离，获得三维曲面上的衍射光栅；步骤一所述的柔性模板(4)的制作过程为：步骤A、将表面具有微纳结构的三维曲面母版(1)与凸形三维曲面基底置于刚性腔体(3)中，控制三维曲面母版(1)与凸形三维曲面基底之间的共面性，确保三维曲面母版(1)与凸形三维曲面基底高度共形；所述三维曲面母版(1)与凸形三维曲面基底的间隔为0至500微米之间；步骤B、将PDMS放到真空腔体内采用真空泵进行抽气，时间为10分钟，获得除去气泡后的PDMS液体；步骤C、将步骤B获得的PDMS液体沿着步骤A所述的刚性腔体(3)的预留孔注入三维曲面母版(1)和凸形三维曲面基底之间的空隙中；然后对凸形三维曲面基底进行加热，获得固化的PDMS；步骤D、将步骤C获得固化的PDMS从凸形三维曲面基底与三维母版中分离；获得柔性模板(4)。 |
