具有孔洞之滚筒组件及使用其之蚀刻设备

摘要

一种滚筒组件，用以供装设于一转轴上。滚筒组件包含一中空圆柱体、两轮盘、两定位孔及复数个通孔。转轴穿透中空圆柱体。两轮盘固定至中空圆柱体之两端部。各轮盘之一外径大于中空圆柱体之一外径。两定位孔形成于中空圆柱体之一圆周壁并贯穿圆周壁，用以供转轴上之两定位销套入，各定位孔之尺寸大于对应之各定位销之尺寸。此等通孔形成于中空圆柱体之圆周壁并贯穿圆周壁，以供进入中空圆柱体之一液体从此等通孔流出。本发明亦提供一种使用此滚筒组件之蚀刻设备。