电子部件烧制用夹具

摘要

现有技术中的电子部件烧制用夹具如果长期使用，则存在氧化锆表层剥离等缺点，虽然在短期使用的情况下看不到性能恶化，但是长期使用时氧化锆表层与电子部件发生反应，多发生电子部件烧制用夹具的寿命变短的情况。本发明通过适当设定氧化锆表层的组成，提供即使长期使用也稳定的电子部件烧制用夹具。例如氧化钙的量相对于由氧化锆粒子与部分熔融结合材形成的氧化锆表层的总量，为4～15重量％。

主权项

一种电子部件烧制用夹具，其在基材上涂覆有氧化锆表层，该氧化锆表层是通过含氧化钙的多种金属氧化物构成的部分熔融结合材将氧化锆粒子结合而形成，该电子部件烧制用夹具的特征在于，氧化钙的量相对于氧化锆粒子和部分熔融结合材的总量为4～11重量％，并且部分熔融结合材的量相对于氧化锆粒子和部分熔融结合材的总量为6～13重量％。