电容式麦克风

摘要

本发明公开了一种电容式麦克风，包括基底，一空腔穿过该基底；定支撑，与基底相连并位于所述空腔中，该定支撑包括远离基底的第一平面和靠近基底的第二平面，一收容部贯穿定支撑的第一平面和第二平面；振膜，与定支撑相连并收容于该定支撑的收容部；定支撑包括固定部和由固定部向定支撑的中心突出的若干定电极；振膜包括振动部和支撑部，振动部设置有若干由振动部向远离振膜中心突出的动电极；所述定电极和所述动电极均为梳齿形状，定电极与动电极在空间上分离并且定电极与动电极相互交叉。此种结构的电容式麦克风线性度好。

主权项

一种电容式麦克风，包括基底，一空腔穿过该基底；定支撑，与基底相连并位于所述空腔中，该定支撑包括远离基底的第一平面和靠近基底的第二平面，一收容部贯穿定支撑的第一平面和第二平面；振膜，与定支撑相连并收容于所述定支撑的收容部，振膜包括远离定支撑的第三平面和靠近定支撑的第四平面；其特征在于：定支撑包括固定部和由固定部向定支撑的中心突出的若干定电极，该定电极包括靠近振膜的第一顶面、靠近基底的第一底面及第一顶面和第一底面间的第一厚度；振膜包括振动部和与振动部相连的支撑部，振动部设置有若干由振动部向远离振膜中心突出的动电极，该动电极包括远离定支撑的第二顶面、靠近定支撑的第二底面及第二顶面和第二底面间的第二厚度；所述定电极和所述动电极均为梳齿状排布，定电极与动电极在空间上分离并且定电极与动电极相互交叉；基底上设有用于放置振膜支撑部的连接部，定支撑相应位置设置有振膜支撑部的让位，所述连接部表面为绝缘层；定支撑的固定部上设有用于给所述定电极通电的定电极引出端；振膜的支撑部上设置有用于给所述动电极通电的动电极引出端。