氮化硅的回收方法

摘要

本发明涉及从涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚回收氮化硅的方法，该方法包括：a)对置于惰性液体介质，优选水，更优选去离子水中的、涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚进行超声波处理，获得含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质，和b)对由步骤a)获得的含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质进行物理纯化步骤以分离氮化硅粉末。使用本发明的回收方法，可得到直接应用于生产的氮化硅粉末，坩埚壁上的氮化硅脱模剂回收率可以达到60-80％，极大地降低了生产成本。

主权项

从涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚回收氮化硅的方法，该方法包括：a)对置于惰性液体介质，优选水，更优选去离子水中的、涂覆有氮化硅的废弃的石英坩埚进行超声波处理，获得含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质，和b)对由步骤a)获得的含有氮化硅粉末和碎硅渣，任选地还含有坩埚碎渣的惰性液体介质进行物理纯化步骤以分离氮化硅粉末。