3 A DEVICE FOR MEASURING IN THREE DIMENSIONS A TOPOGRAPHICAL SHAPE OF AN OBJECT

摘要

물체의 토포그래픽 형상을 3차원으로 측정하기 위한 장치. 이 장치는 광원에 의해 작은 스폿의 어레이로 산출된 수렴 광을 제공하기 위한 공초점 토포그래픽 마스크를 갖고 있는 어레이식 공초점 화상 시스템을 포함하고 있다. 마스크는 소정 거리의 연속적인 위치에 걸쳐서 마스크를 이동시키기 위해 구비된 스캐닝 부재에 장착된다. 이 장치는 상기 연속적인 위치에서의 작은 스폿 출력의 어레이를 연속적인 물체 초점 위치로 매핑하기 위해 구비된 공초점 대물렌즈를 더 포함하고 있다. 공초점 대물렌즈는 상기 장치내의 고정된 위치에 장착될 수 있다.