发明名称 |
PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILMS MINCES SUPPORTES |
摘要 |
La présente invention a pour objet un procédé de fabrication d'un film mince supporté, comprenant les étapes suivantes : a) structuration d'une face d'un support (20) avec un motif A à une profondeur d égale à l'épaisseur souhaitée du film mince; b) structuration d'une face d'un bloc de matériau (10) destiné à former le film mince avec un motif complémentaire du motif B à une profondeur d au moins égale à d ; c) assemblage du bloc de matériau (10) avec le support (20) par superposition des faces structurées ; d) rodage du bloc de matériau (10) jusqu'à la percée du bloc de matériau (10) dans les zones du motif A de structuration ; et e) polissage de la surface ainsi obtenue.
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申请公布号 |
FR2968123(A1) |
申请公布日期 |
2012.06.01 |
申请号 |
FR20100059948 |
申请日期 |
2010.11.30 |
申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S);UNIVERSITE DE FRANCHE-COMTE |
发明人 |
BARON THOMAS;BASSIGNOT FLORENT |
分类号 |
H01L21/50 |
主分类号 |
H01L21/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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