发明名称 PROCÉDÉ DE FABRICATION DE FILMS MINCES SUPPORTES
摘要 La présente invention a pour objet un procédé de fabrication d'un film mince supporté, comprenant les étapes suivantes : a) structuration d'une face d'un support (20) avec un motif A à une profondeur d égale à l'épaisseur souhaitée du film mince; b) structuration d'une face d'un bloc de matériau (10) destiné à former le film mince avec un motif complémentaire du motif B à une profondeur d au moins égale à d ; c) assemblage du bloc de matériau (10) avec le support (20) par superposition des faces structurées ; d) rodage du bloc de matériau (10) jusqu'à la percée du bloc de matériau (10) dans les zones du motif A de structuration ; et e) polissage de la surface ainsi obtenue.
申请公布号 FR2968123(A1) 申请公布日期 2012.06.01
申请号 FR20100059948 申请日期 2010.11.30
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S);UNIVERSITE DE FRANCHE-COMTE 发明人 BARON THOMAS;BASSIGNOT FLORENT
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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