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<p>왜곡 검출부로서 피에조 저항 소자를 갖는 반도체 기판으로 이루어지는 왜곡 센서 칩을 갖는 반도체 왜곡 센서로서, 특성이 장기간 안정되고, 측정 대상물의 왜곡에 따라서 왜곡 센서 칩에 생기는 왜곡의 변환 계수가 측정하는 크기의 왜곡 범위에서 안정된 것이다. 왜곡 센서 칩이 금속 접합재로 접합되어 있는 금속 베이스판이 왜곡 센서 칩의 측변으로부터 돌출되어 측정 대상물에 부착하기 위한 2개 혹은 4개의 연장 멤버를 갖는다. 바람직하게는, 왜곡 센서 칩을 금속 베이스판에 접합하고 있는 접합 영역에 대응한 금속 베이스판 하면 영역과, 연장 멤버 하면 사이에 홈이 형성되어 있고, 금속 베이스판 하면에 홈을 사이에 둔 돌출부가 형성되어 있다.</p> |
