Method for obtaining a thin stabilized fluorine-doped silica layer thin layer obtained and application thereof in ophthalmic optics
摘要
<p>본 발명에 따른 방법은 희유가스, 산소 또는 상기 가스들의 둘 이상의 혼합물로 생긴 양이온 빔을 형성되는 층에 충돌시키는 것을 포함하는 이온 빔 보조 기상 증착에 의하여, 또는 실리콘 또는 금속층의 스퍼터링과 이어지는 상기 실리콘 또는 금속층의 산화에 의해 SiOF층 상에 실리카 SiO및/또는 금속 산화물의 보호층을 형성하는 것을 포함한다. 본 발명의 방법은 반사방지 코팅의 제조에도 유용하다.</p>
