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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Herstellen von Mehrfachschichtsystemen auf bandförmigen Substraten in einer Prozesskammer, in der sich mindestens eine schichtbildende Einrichtung befindet, wobei das bandförmige Substrat von einem Abwickler abgezogen und über verschiedene Walzen schließlich auf einen Aufwickler geführt wird. Durch die Erfindung soll eine Vorrichtung zum Herstellen von Mehrfachschichtsystemen und/oder Schichten mit großer Dicke auf bandförmigen Substraten geschaffen werden, die effektiv arbeitet und die Herstellung solcher Mehrfachschichtsysteme mit guter Qualität ermöglicht. Erreicht wird das dadurch, dass in der Prozesskammer (1) mit den schichtbildenden Einrichtungen (5, 5', 5'') mindestens eine hohle Prozesswalze (2) angeordnet ist, in der sich eine schlitzförmige Öffnung (6) befindet, dass in der Prozesswalze (2) ein Abwickler (3) und ein Aufwickler (3') für das bandförmige Substrat (4) nebeneinander drehbar angeordnet sind und dass das bandförmige Substrat (4) von Abwickler (3) durch die Öffnung (6) über die Außenmantelfläche der Prozesswalze (2) durch die Öffnung (6) zurück zum Aufwickler (3') geführt ist.
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