OPTICAL INSPECTING SYSTEM WITH A VARIATION SYSTEM CONSISTING OF FIVE LENS GROUPS FOR IMAGING AN OBJECT INTO INFINITY

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches Inspektionssystem, ausgebildet zur Abbildung eines zu inspizierenden Objektes mit veränderlichem Abbildungsmassstab, umfassend ein Variationssystem zur Abbildung des Objektes in einen Unendlichraum, eine dem Variationssystem nachfolgende Linsengruppe (LG6) zur Abbildung des Objektes aus dem Unendlichraum in die Bildebene des Gesamtsystems, und eine Lichtquelle zur Erzeugung von Licht zur Beleuchtung des Objektes, wobei im Luftraum zwischen der fünften Linsengruppe (LG5) und der nachfolgenden Linsengruppe Mittel zur Abbildung des Beleuchtungslichtes in die Austrittspupille des Variationssystems vorgesehen sind. Von den fünf Lisengruppen (LG1 bis LG5) des Variationssystems sind, in Abbildungsrichtung betrachtet, die erste, zweite und vierte Linsengruppe (LG1, LG2, LG4) in Richtung der optischen Achse verschiebbar angeordnet, die dritte un fünfte Linsengruppe (LG3, LG5) dagegen sind nicht verschiebbar.