TFT-LCD阵列基板及其制造方法

摘要

本发明涉及一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法，阵列基板包括栅线、数据线、像素电极和薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括与栅线连接的栅电极和与数据线连接的源电极，所述栅电极上形成有至少一个过孔或所述栅电极的至少一侧形成有过槽，所述过孔或过槽内填充有分别与所述像素电极和源电极连接的半导体层。本发明改变了现有技术中普遍采用的“平面型”TFT结构，变平面结构为空间结构，具有结构简捷紧凑、参数特性好以及制造工艺简单等特点，不仅实现了增大开启电流的效果，对于其它电性参数亦有一定的改善，并且其空间结构缩小了平面尺寸，增大了空间利用率，进而增大了开口率。

主权项

一种TFT‑LCD阵列基板，包括栅线、数据线、像素电极和薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括与栅线连接的栅电极和与数据线连接的源电极，所述栅电极上形成有至少一个过孔或所述栅电极的至少一侧形成有过槽，所述过孔或过槽内填充有分别与所述像素电极和源电极连接的半导体层；所述像素电极兼做所述薄膜晶体管中的漏电极，形成于所述栅电极上方；所述源电极形成在基板上，所述栅电极形成于所述源电极上方。