显示装置的修正方法及其装置

摘要

本发明的目的在于提供一种显示装置的修正方法及其装置，能够大幅度扩大修正的区域、材料或种类等的适用范围。本发明的显示装置的修正装置，用于对在衬底的表面上形成了具有图案缺陷的电子电路图案的显示装置的上述图案缺陷进行修正，包括通过对上述图案缺陷的区域局部地照射等离子体而修正上述图案缺陷的等离子体照射单元。

主权项

一种显示装置的修正装置，对在衬底的表面上形成了具有图案缺陷的电子电路图案的显示装置的上述图案缺陷进行修正，其特征在于：包括通过对上述图案缺陷的区域局部地照射等离子体而修正上述图案缺陷的等离子体照射单元，上述等离子体照射单元包括：在其内部生成等离子体的等离子体生成用细管，向上述等离子体生成用细管供给第一气体的第一气体供给部，具有开口部，从该开口部的对面侧插入上述等离子体生成用细管的一端的等离子体反应部，以及向上述等离子体反应部内供给第二气体的第二气体供给部。