用于化学气相沉积的装置和方法

摘要

本发明提供用以产生汽化的液态前体材料的方法与设备。该方法与设备可作为化学气相沉积设备或系统的一部分。该方法与设备包括提供用来容纳液态前体(211)的容器(218)以及扩散组件(232)，其中该扩散组件的外剖面尺寸基本上等于该容器的内剖面尺寸。

主权项

一种化学气相沉积设备，包含：化学气相沉积反应室，该化学气相沉积反应室具有反应室气体入口端口；以及液态反应物汽化器，该汽化器具有出口端口与容器，其中该出口端口连接至该反应室气体入口端口，且该容器包含上部分、下部分、多个内侧面与一个底面，该容器包含液态反应物，并且介于这些内侧面之间的空间定义出容器内径；容器入口端口，该容器入口端口连接至载气源；多孔盘状烧结金属熔块，该多孔盘状烧结金属熔块的外径等于该容器的内径，被插入该容器的下部分中直至低于该液态反应物的液面，并且在该多孔盘状烧结金属熔块与该容器的底面之间定义出气室；以及气体输送导管，该气体输送导管延伸穿过该反应室气体入口端口与该多孔盘状烧结金属熔块。