自动动态基线制定和调整

摘要

在等离子体处理系统中，提供一种用于动态地制定基线的方法。该方法包括处理第一基板。该方法还包括收集该第一基板的第一信号数据。该方法进一步包括比较该第一信号数据与该基线。该方法还包括如果该第一信号数据在置信水平范围内，则在重新计算该基线时包括该第一信号数据，该置信水平范围在该基线以上的最高水平和该基线以下的最低水平之间。

主权项

在等离子体处理系统中，一种调整基线的方法，所述方法包括：处理第一基板；收集所述第一基板的第一信号数据，所述第一信号数据是在所述处理过程中或处理之后收集的；比较所述第一信号数据与所述基线，所述基线用于确定处理过的基板的质量的可接受性；以及如果所述第一信号数据在置信水平范围内，则使用所述第一信号数据重新计算所述基线，所述置信水平范围在所述基线以上的最高水平和所述基线以下的最低水平之间，所述置信水平在第一容差范围内，其中与在所述第一容差范围内的测得的信号数据相关的处理过的基板被认为是可接受的。