旋转角度传感器中测量道偏心的光学补偿装置及方法

摘要

本发明涉及用于光学旋转角度传感器或旋转编码器的改进的编码盘、包括改进的编码盘的光学旋转角度传感器或旋转编码器、和对旋转编码器中角度测量误差特别是由于编码盘的位移或偏心可能发生的角度测量误差的通过光学手段校正或补偿的方法。编码盘(20)包括至少一个测量道(22)和至少一个补偿道(24)，其中测量道(22)在编码盘(20)的第一半径区域内；补偿道(24)相对于测量道(22)居中于编码盘(20)的第二半径区域，使得测量道(22)的中心与补偿道(24)的中心重合。优选地，补偿道(24)被设计成入射到补偿道的区域上的至少一部分光由补偿道(24)径向地朝向通过补偿道(24)和测量道(22)共同的中心的轴线的方向偏转。优选地，由补偿道偏转的读取光的方向与通过补偿道和测量道共同的中心的轴线相交，其中补偿道和所述交点之间的距离与补偿道和测量道之间的光路长度对应。读取光可以是相干的或不相干的。补偿道的半径可以小于、大于或等于测量道的半径。优选地，补偿道(24)具有衍射结构。

主权项

一种编码盘(20)，其用于光学旋转编码器，所述编码盘包括至少一个测量道(22)和至少一个补偿道(24)，其中，所述测量道(22)被设计为使得当所述测量道(22)的扫描区域被照明时生成或产生至少一个光学测量光束(S3)，其中所述测量光束(S3)的至少一个光学参数被调制为待测量角度的函数，并且所述测量道(22)布置于所述编码盘(20)的第一半径区域；所述补偿道在所述编码盘(20)的第二半径区域相对于所述测量道(22)居中，其中所述测量道的中心与所述补偿道(24)的中心重合。