发明名称 |
In-Ga-Zn-O系氧化物烧结体 |
摘要 |
一种氧化物烧结体,其含有In(铟元素)、Ga(镓元素)以及Zn(锌元素),相对于除了氧元素之外的总元素的In、Ga以及Zn的总计含有率为95原子%以上,包含显示In2O3所示的方铁锰矿结构的化合物,和显示ZnGa2O4所示的尖晶石结构的化合物。 |
申请公布号 |
CN102482156A |
申请公布日期 |
2012.05.30 |
申请号 |
CN201080036828.2 |
申请日期 |
2010.09.30 |
申请人 |
出光兴产株式会社 |
发明人 |
矢野公规;川岛浩和;糸濑将之;井上一吉 |
分类号 |
C04B35/00(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
C04B35/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
蒋亭 |
主权项 |
一种氧化物烧结体,其含有In(铟元素)、Ga(镓元素)以及Zn(锌元素),相对于除了氧元素之外的总元素的In、Ga以及Zn的总计含有率为95原子%以上,包含显示In2O3所示的方铁锰矿结构的化合物,和显示ZnGa2O4所示的尖晶石结构的化合物。 |
地址 |
日本国东京都 |