发明名称 In-Ga-Zn-O系氧化物烧结体
摘要 一种氧化物烧结体,其含有In(铟元素)、Ga(镓元素)以及Zn(锌元素),相对于除了氧元素之外的总元素的In、Ga以及Zn的总计含有率为95原子%以上,包含显示In2O3所示的方铁锰矿结构的化合物,和显示ZnGa2O4所示的尖晶石结构的化合物。
申请公布号 CN102482156A 申请公布日期 2012.05.30
申请号 CN201080036828.2 申请日期 2010.09.30
申请人 出光兴产株式会社 发明人 矢野公规;川岛浩和;糸濑将之;井上一吉
分类号 C04B35/00(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I 主分类号 C04B35/00(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 蒋亭
主权项 一种氧化物烧结体,其含有In(铟元素)、Ga(镓元素)以及Zn(锌元素),相对于除了氧元素之外的总元素的In、Ga以及Zn的总计含有率为95原子%以上,包含显示In2O3所示的方铁锰矿结构的化合物,和显示ZnGa2O4所示的尖晶石结构的化合物。
地址 日本国东京都