同轴电缆的异常检测系统和方法、具备该系统的处理装置

摘要

本发明涉及同轴电缆的异常检测系统及其异常检测方法、以及具备该异常检测系统的处理装置。提供一种能够检测压曲或裂纹那样的极小的异常，并且能够不停止处理装置就对极小的异常进行检测的同轴电缆的异常检测系统。该同轴电缆的异常检测系统包括：一端与RF发电机的输出连接，另一端与匹配器的输入连接的同轴电缆；对同轴电缆的RF发电机的输出中的反射波R进行检测的第一反射波检测单元；对同轴电缆的匹配器的输入中的反射波r进行检测的第二反射波检测单元；和检测器，对反射波R和反射波r进行比较，当反射波R和反射波r的关系为R＞r，并且反射波R和反射波r的差超过规定值时，对同轴电缆中的异常发生进行检测。

主权项

一种同轴电缆的异常检测系统，其特征在于，包括：同轴电缆，其一端与RF发电机的输出连接，另一端与匹配器的输入连接；第一反射波检测单元，检测所述同轴电缆的所述RF发电机的输出中的反射波R；第二反射波检测单元，检测所述同轴电缆的所述匹配器的输入中的反射波r；和检测器，比较所述反射波R和所述反射波r，当所述反射波R和所述反射波r的关系为R＞r，并且所述反射波R和所述反射波r的差超过规定值时，对所述同轴电缆中的异常发生进行检测，其中，所述规定值为100W以上200W以下。