一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具

摘要

一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，包括两个平行设置的侧板，两侧板之间通过三根间隔设置的连接杆连接，两侧板的外周上开设有数个相互对应的槽口，两侧板间还设置有卡杆，该卡杆的两端设置两个相对应的槽口内，所述连接杆与所述卡杆在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口。该腐蚀载具与晶圆的接触面积小，在腐蚀过程中晶圆在腐蚀载具内自由转动，降低腐蚀笼印发生率，提高晶圆腐蚀后表面的均匀性；可以实现一个腐蚀载具适用于不同直径的晶圆，大大降低工装成本。

主权项

一种适用于多尺寸晶圆的腐蚀载具，其特征在于：包括两个平行设置的侧板，两侧板之间通过三根间隔设置的连接杆连接，两侧板的外周上开设有数个相互对应的槽口，两侧板间还设置有卡杆，该卡杆的两端设置两个相对应的槽口内，该卡杆在直线方向上均设置有多个等距的锯齿状缺口。