| 摘要 |
1. Способ изготовления слоев, прежде всего стабильных при высоких температурах слоев, посредством испарения электрической дугой, содержащих тройной и/или более высокий оксид металлических и полуметаллических компонентов, ! отличающийся тем, что ! температура образования этих оксидов может быть, по существу, определена посредством выбора состава двоичной (или более высокого порядка) мишени из сплава таким образом, что фазовая диаграмма компонентов с выбранным составом обнаруживает переход из полностью жидкой фазы в содержащую твердые компоненты фазу при температуре, которая соответствует желаемой температуре образования. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что точку плавления легкоплавких компонентов материала мишени так целенаправленно увеличивают посредством добавления более тугоплавких металлических или полуметаллических компонентов в мишень из сплава, что регулируется температура образования оксида. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что слои имеют долю в более чем 70 ат.% оксида алюминия в корундовой структуре при использовании по меньшей мере одной состоящей из алюминия мишени из сплава и по меньшей мере одного другого металлического или полуметаллического компонента, при этом этот сплав имеет переход из полностью жидкой фазы в содержащую твердые компоненты фазу между 1000°С и 1200°С. ! 4. Способ по п.2, отличающийся тем, что слои имеют долю в более чем 70 ат.% оксида алюминия в корундовой структуре при использовании по меньшей мере одной состоящей из алюминия мишени из сплава и по меньшей мере одного другого металлического или полуметаллического компонента, при этом этот сплав имеет переход из полнос |
