摘要 |
Offenbart wird ein optisches Element, das aus polykristallinem Silicium besteht, das aus Trichlorsilan hoher Reinheit gebildet ist, und das einen Infrarotstrahl in einem Wellenlängenbereich von 4 μm oder weniger absorbiert und streut. Konkret beträgt ein Verhältnis A/B zwischen einem Durchlässigkeitsgrad A eines Infrarotstrahls mit einer Wellenlänge von 4 μm und einem Durchlässigkeitsgrad B eines Infrarotstrahls mit einer Wellenlänge von 10 μm 0,9 oder weniger. Eine mittlere Kristallkorngröße des polykristallinen Siliciums beträgt 5 μm oder weniger. Dieses polykristalline Silicium wird durch Wasserstoff, der SiHCl3 reduziert, durch Erwärmen eines Grundmaterials auf 800 bis 900°C unter Verwenden eines chemischen Dampfabscheidungsverfahrens erzeugt. Auf diese Weise werden ein infrarotstrahldurchlässiges optisches Element, ein Herstellungsverfahren hierfür, eine optische Vorrichtung, ein Infrarotdetektor und ein optisches Gerät, das einen menschlichen Körper mit hoher Empfindlichkeit und Genauigkeit erfassen kann, verwirklicht.
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