发明名称 一种用于触摸屏的ITO薄膜制造方法
摘要 本发明公开一种用于触摸屏的ITO薄膜制造方法,该方法包括:设置蚀刻保护层,在ITO薄膜的正面设置蚀刻保护层;蚀刻处理,对ITO薄膜正面进行蚀刻;清洁处理,对蚀刻后的ITO薄膜进行清洗;剥离蚀刻保护层,将经过清洁处理的ITO薄膜的蚀刻保护层去除;设置正面保护层,在ITO薄膜的正面可视区域设置保护层;印制银线,在ITO薄膜的正面四周印制银线。由于经过蚀刻处理步骤后,ITO薄膜正面蚀刻保护层对ITO薄膜进行保护,可以在对ITO薄膜进行清洁处理时,提供较高的洁净度,同时可以避免ITO薄膜刮伤、氧化,从而可以提高触摸屏成品率。
申请公布号 CN101739160B 申请公布日期 2012.05.23
申请号 CN200810072132.X 申请日期 2008.11.17
申请人 深圳市航泰光电有限公司 发明人 钟定锋
分类号 G06F3/041(2006.01)I 主分类号 G06F3/041(2006.01)I
代理机构 深圳市博锐专利事务所 44275 代理人 张明
主权项 一种用于触摸屏的ITO薄膜制造方法,其特征在于,该方法包括:设置蚀刻保护层,在ITO薄膜的正面设置蚀刻保护层,对该蚀刻保护层进行烘烤热固,将蚀刻保护层分成若干条状区域,所述蚀刻保护层的厚度为15um~35um,所述热固温度为130℃~150℃,热固时间为10分钟~20分钟;蚀刻处理,对ITO薄膜正面进行蚀刻;清洁处理,对蚀刻后的ITO薄膜进行清洗;剥离蚀刻保护层,将经过清洁处理的ITO薄膜的蚀刻保护层从ITO薄膜上剥离;设置正面保护层,在ITO薄膜的正面可视区域设置正面保护层;印制银线,在ITO薄膜的正面四周印制银线;印制银线保护层,该银线保护层经过紫外线强度为700mj/cm2~800mj/cm2固化处理或采用热固温度为80℃~150℃,热固时间为20分钟~40分钟热固处理。
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