光电倍增管

摘要

本发明涉及一种光电倍增管(1)，具有：具有沿框体(5)的内表面(40a)上的电子倍增方向排列的多级的倍增极(33a～331)的电子倍增部(33)；在框体(5)内与电子倍增部(33)隔开设置的光电面(41)以及阳极部(34)，倍增极(33c～33e)分别具有形成有二次电子射出面(53c～53e)的多个柱状部(51c～51e)，在邻接的柱状部之间形成电子倍增通道(C)，后级侧的柱状部(51e)中对着前级侧的柱状部(51d)的相对面(54e)，以将与柱状部(51d)的二次电子射出面(53d)的另一端侧的端部相对的部位(55e)作为基准，沿相对面(54e)的内表面(40a)的方向的两端部(56e、57e)向一端侧突出的方式形成。

主权项

一种光电倍增管，其特征在于，具有：外围器，具有至少内表面由绝缘材料形成的基板；电子倍增部，具有沿从所述外围器的所述内表面上的一端侧朝向另一端侧的方向依次隔开排列的N级的倍增极，其中，N是2以上的整数；光电面，在所述外围器内的所述一端侧与所述电子倍增部隔开设置，将来自外部的入射光转换为光电子并射出所述光电子；以及阳极部，在所述外围器内的所述另一端侧与所述电子倍增部隔开设置，将由所述电子倍增部倍增的电子作为信号读取，所述N级的倍增极分别具有配置于所述内表面上且形成有二次电子射出面的多个柱状部，在所述多个柱状部中的邻接的柱状部之间形成具有所述二次电子射出面的电子倍增路径，第M+1级的倍增极的所述柱状部中对着第M级的倍增极的所述柱状部的相对面被形成为，将与所述第M级的倍增极的所述柱状部的所述二次电子射出面的所述另一端侧的端部相对的部位作为基准，所述相对面的沿所述内表面的方向的两侧的端部向所述一端侧突出，其中，M是大于等于1小于N的整数。