用于衬底处理系统的损坏衬底处置设备及方法

摘要

本发明的实施例一般地提供在衬底处理系统(例如，用于太阳能电池组件的丝网印刷系统)中处置损坏衬底的设备和方法。损坏衬底处置设备包括在中心安装在旋转致动器组件上的容器。多个衬底支撑件围绕旋转致动器组件的周边布置。损坏衬底从衬底支撑件传送到容器。公开了自动式与手动式的设备和方法。

主权项

一种衬底处理系统，其包括：旋转致动器组件，其具有设置在所述旋转致动器组件上的至少一个衬底支撑件，所述旋转致动器组件构造成使所述至少一个衬底支撑件在多个位置之间移动；衬底处理室，所述衬底处理室定位成在所述至少一个衬底支撑件处于所述多个位置中的第一位置时在所述衬底上执行处理；和损坏衬底处置设备，所述损坏衬底处置设备包括容器，所述容器耦接到所述旋转致动器组件，并且所述容器构造成从所述至少一个衬底支撑件接收潜在损坏的衬底。