发明名称 |
可导电的抛光垫及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种可导电的抛光垫及其制造方法。所述可导电的抛光垫包括底层、导电薄膜和抛光层。所述底层包括第一高分子体和纤维基材。所述第一高分子体包覆所述纤维基材,且具有多个第一孔洞。所述导电薄膜位于所述底层上。所述抛光层位于所述导电薄膜上,包括第二高分子体。所述第二高分子体具有多个第二孔洞。借此,即便所述底层和所述抛光层是不良导体,所述导电薄膜也可提升其导电性,使所述抛光垫具有良好导电性。其次,所述抛光垫具有弹性表面,在进行抛光时不易使待抛光工件的表面产生刮伤。 |
申请公布号 |
CN101780661B |
申请公布日期 |
2012.05.23 |
申请号 |
CN200910000189.3 |
申请日期 |
2009.01.15 |
申请人 |
贝达先进材料股份有限公司 |
发明人 |
冯崇智;姚伊蓬;洪永璋;王俊达 |
分类号 |
B24D11/00(2006.01)I;B24D11/02(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I |
主分类号 |
B24D11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 |
代理人 |
孟锐 |
主权项 |
一种可导电的抛光垫,其包括:底层,其包括第一高分子体和纤维基材,所述第一高分子体包覆所述纤维基材,且第一高分子体具有多个第一孔洞;导电薄膜,其位于所述底层上;抛光层,其位于所述导电薄膜上,所述抛光层包括第二高分子体,所述第二高分子体具有多个第二孔洞;以及强化材料,其位于所述第一高分子体的所述第一孔洞内,所述强化材料是水性聚氨酯、水性压克力树脂、泼水处理剂或手感处理剂,其中所述纤维基材是不织布,所述第一高分子体的材质是高分子树脂,所述第二高分子体的材质是高分子树脂。 |
地址 |
中国台湾桃园县 |