流路中流动的样本的光学特性测量装置

摘要

本发明的光学特性测量装置(1)具备光源部(10)、第1光耦合器(21)、第2光耦合器(22)、透镜(31)、透镜(32)、相位调制部(40)、驱动部(41)、光程长度差调整部(50)、控制部(51)、受光部(60)、同步检测部(70)以及测量部(80)。相位调制部(40)以频率(f)对光进行相位调制。同步检测部(70)在输出对应于从受光部(60)输出的电信号中所含的频率(f)的成分的大小的值的第1信号的同时，输出对应于该电信号中所含的频率(2f)的成分的大小的值的第2信号。控制部(51)以根据从同步检测部(70)输出的第1信号或者第2信号而使被光程长度差调整部(50)调整的光程长度差为规定值的方式进行控制。

主权项

一种光学特性测量装置，其特征在于，是利用光的干涉来测量流路中的样本的光学特性的光学特性测量装置，具备：光源部，其输出光；第1光耦合器，其将从所述光源部输出的光调制成2个分支并作为第1分支光以及第2分支光输出；第2光耦合器，其输入从所述第1光耦合器输出并经过第1分支光路的第1分支光，并输入从所述第1光耦合器输出并在经过第2分支光路的同时通过该第2分支光路上的所述流路的第2分支光，并且使这些输入的第1分支光以及第2分支光干涉并输出该干涉光；相位调制部，其被设置于所述第1光耦合器与所述第2光耦合器之间的所述第1分支光路以及所述第2分支光路中的任意的光路上，并以频率f对在该光路上传播的光进行相位调制；光程长度差调整部，其对所述第1光耦合器与所述第2光耦合器之间的所述第1分支光路以及所述第2分支光路的各自的光程长度的差进行调整；受光部，接收从所述第2光耦合器输出的干涉光并输出对应于该受光强度的值的电信号；同步检测部，其输入从所述受光部输出的电信号，并在输出对应于该电信号中所含的频率f的成分的大小的值的第1信号的同时，输出对应于该电信号中所含的频率2f的成分的大小的值的第2信号；控制部，其以根据从所述同步检测部输出的第1信号或者第2信号而使被所述光程长度差调整部调整的光程长度差为规定值的方式进行控制，使由于环境变动而引起的光程长度差的变动频率透过、并且经由低通滤波器来进行，其中，该低通滤波器截断包含伴随着样本通过的信号的频率；以及测量部，其根据从所述同步检测部输出的第1信号以及第2信号，测量所述流路中的样本的光学特性。