表面形状测量设备

摘要

在此公开了一种表面形状测量设备，该设备包括：光源，该光源将光发射至样品；空间光调制器，该空间光调制器安装于所述光源与所述样品之间的光路上，用于以像素为单位，对从所述光源发射至所述样品的光量进行空间控制；光检测器，该光检测器对反射自所述样品的光进行检测；以及控制器，该控制器通过控制穿过所述空间光调制器(SLM)的光量以及反射自所述样品的待检测光，控制发射自所述光源的光发射至所述样品，藉此由空间光调制器以像素为单位，对发射至所述样品的光量进行空间控制，从而可改善表面形状测量性能，且更紧凑。

主权项

一种表面形状测量设备，该设备包括：光源，该光源将光发射至样品；空间光调制器，该空间光调制器安装于所述光源与所述样品之间的光路上，用于以像素为单位对从所述光源发射至所述样品的光量进行空间上的控制；光检测器，该光检测器对反射自所述样品的光进行检测；以及控制器，该控制器通过控制穿过所述空间光调制器的光量以及反射自所述样品的待检测光，来控制发射自所述光源的光发射至所述样品。