向下式基板薄型化装置及采用该装置的薄型化系统

摘要

本发明提供一种向下式玻璃薄型化装置以及利用该装置的薄型化系统。该向下式玻璃薄型化装置具有：固定部，将至少一张基板垂直固定；喷嘴部，设置在所述基板的垂直上方，使蚀刻液沿着所述基板表面流下。在此，所述喷嘴部在所述基板的垂直上部侧设置多个，另外，具有特有的容纳部、蚀刻液通过狭缝以及导向部，以使从喷嘴部供给的蚀刻液溢出流动的同时沿着基板表面进行蚀刻，而且为了防止蚀刻液过度流出而具有缓冲隔壁。

主权项

一种向下式玻璃薄型化装置，具有：固定部，将至少一张基板垂直固定；喷嘴部，设置在所述基板的垂直上方，使蚀刻液沿着所述基板表面流下；所述喷嘴部包括：容纳部，容纳从外部注入的蚀刻液；导向部，将溢出所述容纳部的蚀刻液导向至所述基板的垂直上部方向。