| 发明名称 | TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅 | ||
| 摘要 | 一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅，该分束光栅的光栅周期为1830～1850纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为143～146纳米和500～508纳米，两脊之间距为594～597纳米，脊深为872～875纳米。当TE偏振光垂直入射时，其透射光将分成等强度的5束光，这5束光总的衍射效率大于96％，并且其均匀性优于5％。本发明TE偏振双脊熔石英透射1×5分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 申请公布号 | CN102156315B | 申请公布日期 | 2012.05.23 |
| 申请号 | CN201110105695.6 | 申请日期 | 2011.04.26 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 周常河;吴俊;曹红超 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 一种用于800纳米波长的TE偏振的双脊熔石英1×5分束光栅，其特征在于该分束光栅的光栅周期为1830～1850纳米，每个光栅周期内两个脊宽分别为143～146纳米和500～508纳米，两脊之间距为594～597纳米，脊深为872～875纳米。 | ||
| 地址 | 201800 上海市800-211邮政信箱 | ||