发明名称 用于记忆体装置之阻障区
摘要 本发明之一个实施例系关于记忆胞(memory cell)(100)。该记忆胞(100)包括基板(103)和设置于该基板(103)上之堆叠之闸极结构(102),其中,该堆叠之闸极结构(102)包括调适以储存至少一个位元资料之电荷捕获介电层(charge trapping dielectric layer)(106)。该记忆胞(100)复包括位于该基板(103)中之源极(105)和汲极(107),其中,该源极(105)和汲极(107)设置于该堆叠之闸极结构(102)之相对侧。阻障区(barrier region)(109)实质上设置于该源极(105)或该汲极(107)之下方,并包括惰性物种(inert species)。本发明亦揭示了其他的实施例。
申请公布号 TWI364837 申请公布日期 2012.05.21
申请号 TW096144904 申请日期 2007.11.27
申请人 史班逊有限公司 美国 发明人 辛哈 史汉卡;何谊;刘克政;关明生
分类号 H01L27/115;H01L21/8247 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项
地址 美国