| 摘要 |
本发明系关于一种满足以下条件之含有研磨材与水且pH值为0.1~7之研磨液组合物：(1)每1 cm3研磨液组合物中，0.56μm以上且未达1μm之研磨粒子为500,000个以下，以及(2)对于研磨液组合物中之全部研磨粒子，1μm以上之研磨粒子为0.001重量%以下；又，关于一种满足以下条件且含有研磨材与水之研磨粒子调制液，其用于上述研磨液组合物之调制：(i)每1 cm3研磨粒子调制液中，0.56μm以上且未达1μm之研磨粒子为500,000个以下，以及(ii)对于研磨粒子调制液中之全部研磨粒子，1μm以上之研磨粒子为0.001重量%以下；又，关于一种具有以下纯化步骤之上述研磨液组合物之制造方法，其步骤I中之过滤器入口压力之变动幅度为50 kPa以下：(I)以深度型过滤器过滤纯化前之研磨液组合物，获得中间过滤物之步骤，以及(II)以波浪型过滤器过滤此中间过滤物，获得研磨液组合物之步骤；又，关于一种具有以下纯化步骤之上述研磨粒子调制液之制造方法，其步骤I'中之过滤器入口压力之变动幅度为50 kPa以下：(I')以深度型过滤器过滤纯化前之研磨粒子调制液，获得中间过滤物之步骤，以及(II')以波浪型过滤器过滤此中间过滤物，获得研磨粒子调制液之步骤；以及，关于一种基板之制造方法，其具有使用上述研磨液组合物藉由研磨机研磨基板之步骤。 |
