用于宽带离子束的质量分析磁铁

摘要

本发明涉及宽带离子束的注入领域，其公开了一种用于宽带离子束的质量分析磁铁，包括磁体以及连有电源的线圈；所述磁体包括磁极、磁轭以及磁屏蔽板；所述磁极包括上磁极和下磁极；所述磁屏蔽板包括上磁屏蔽板以及下磁屏蔽板；所述上磁极与下磁极间设有供宽带离子束以一定路线通过的磁场空间。本发明又公开了一种注入机系统，包括离子源、引出电极单元、偏转减速单元、质量分析磁铁、目标工件和工件传送单元、束流测量诊断单元以及控制单元。本发明的有益效果是：本发明具有高质量分辨率和几乎为零系统像差；可以产生300毫米，450毫米，甚至1000毫米的纯净宽带离子束；可以提高通过减速器产生的超低能量离子束的品质，减小超低能量离子束的角度离散。

主权项

一种用于宽带离子束的质量分析磁铁，其特征在于，包括磁体以及连有电源的线圈；所述磁体包括磁极、磁轭以及磁屏蔽板；所述磁轭和所述磁屏蔽板连接所述磁极；所述磁极包括上磁极和下磁极；所述磁屏蔽板包括上磁屏蔽板以及下磁屏蔽板；所述上磁极与下磁极间设有供宽带离子束以一定路线通过的磁场空间；所述线圈包括上线圈和下线圈；所述上线圈和下线圈生成让宽带离子束偏转的磁场；所述上线圈和下线圈分别缠绕在所述上磁极和下磁极上；所述磁体设有质量选择狭缝；所述质量选择狭缝位于所述磁体的中部并让其所期望的离子通过。