发明名称 | 长晶炉的气流导引装置 | ||
摘要 | 本发明长晶炉的气流导引装置,主要提供长晶炉一种能够有效降低杂质浓度,藉以提升晶体质量的气流导引装置;所述的气流导引装置包括有:一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管,以及若干设于绝热层的排气孔;其中,输气管的管口处设有若干呈放射状配置的导流板,使熔汤的自由表面得以同步接受导引气流的吹拂作用,而加速将杂质带离自由表面的速率,以有效降低杂质浓度,藉以提熔汤冷却固化后的晶体质量。 | ||
申请公布号 | CN102453959A | 申请公布日期 | 2012.05.16 |
申请号 | CN201010512707.2 | 申请日期 | 2010.10.20 |
申请人 | 中央大学 | 发明人 | 陈志臣;邓应扬;吕中伟;陈学亿 |
分类号 | C30B27/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B27/00(2006.01)I |
代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人 | 艾晶;周春发 |
主权项 | 一种长晶炉的气流导引装置,包括有:一相对罩设于坩埚外围的绝热层、一设于绝热层上的输气管,以及若干设于绝热层上的排气孔;其特征在于:该输气管的管口处设有若干呈放射状配置的导流板。 | ||
地址 | 中国台湾桃园县中坜市五权里2邻中大路300号 |