发明名称 Koordinaten-Messtisch
摘要 xy-Koordinaten-Messtisch (1), der für jede Koordinatenachse eine Antriebseinheit mit einem Reibstab (10; 12) und einem Motor (9; 11) aufweist, wobei der Motor (9; 11) mit seiner Motorachse (19) auf der einen Seite des Reibstabs (10; 12) und einer Andruckrolle auf der anderen Seite des Reibstabs (10; 12) anliegt, und wobei mindestens eine Andruckfeder (24) vorgesehen ist, welche die Andruckrolle (20), den Reibstab (10; 12) und die Motorachse (19) mit einer Andruckkraft gegeneinander vorspannt, wodurch die Motorachse (19) kraftschlüssig an dem Reibstab (10; 12) angreift und die Drehbewegung des Motors (9; 11) in eine Linearbewegung des Reibstabs (10; 12) umsetzt, dadurch gekennzeichnet, dass der Motorachse (19) ein Kompensationsmittel (21) zugeordnet ist, das eine der Andruckkraft entgegengesetzt gerichtete Ausgleichskraft erzeugt, welche auf die Motorachse (19) gerichtet ist und die Andruckkraft kompensiert, dass die Andruckrolle (20) relativ zu der Position der Motorachse (19) an dem y-Reibstab (12) einen seitlichen Versatz...
申请公布号 DE10236239(B4) 申请公布日期 2012.05.16
申请号 DE2002136239 申请日期 2002.08.07
申请人 VISTEC SEMICONDUCTOR SYSTEMS GMBH 发明人 KACZYNSKI, ULRICH
分类号 G01B21/00;G01B21/04;G01N11/02;G03F7/20;G12B5/00;H01L21/68;H02K7/06 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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