光学位置测量装置

摘要

本发明涉及一种光学位置测量装置，具有扫描杆(A)和测量杆(M)，扫描杆在两个方向(X，Y)中的第一或第二方向上延伸并且测量杆在两个方向中的分别另一方向上延伸，测量杆在垂直于第一和第二方向的第三方向(Z)上和扫描杆间隔开扫描距离(d)偏移地布置。该装置还具有光源(LQ)，其光线在扫描杆和测量杆的交叉点处穿过扫描杆，落到测量杆上并从那里返回到达扫描杆和探测器，光线在扫描杆和测量杆的起光学作用的结构处通过衍射分离成不同部分光线并再次汇合，通过相互汇合的部分光线的干涉，当在第一方向上在扫描杆和测量杆之间移动时在探测器中产生周期性信号。当扫描杆和测量杆之间的扫描距离改变时同样在探测器中产生周期性信号。

主权项

一种光学位置测量装置，具有：扫描杆(A)和测量杆(M)，其中所述扫描杆(A)在两个方向(X，Y)中的第一或第二方向上延伸并且所述测量杆(M)在所述两个方向(X，Y)中的分别另一方向上延伸，和其中所述测量杆(M)在垂直于所述第一和第二方向(X，Y)的第三方向(Z)上和所述扫描杆(A)间隔开扫描距离(d)偏移地布置；以及光源(LQ)，所述光源的光线在所述扫描杆(A)和所述测量杆(M)的交叉点处穿过所述扫描杆(A)，以便落到所述测量杆(M)上并从那里返回到达所述扫描杆(A)和继续到达探测器，其中光线在所述扫描杆(A)和所述测量杆(M)的起光学作用的结构(O1，O2，O3，O4，O5)处通过衍射分离成不同的部分光线(A1，A2，B1，B2)并再次汇合，其中通过相互汇合的部分光线(A1，A2，B1，B2)的干涉，当在所述第一方向(X)上在所述扫描杆(A)和所述测量杆(M)之间移动时，产生周期性的探测器信号，其特征在于，即使当所述扫描杆(A)和所述测量杆(M)之间的所述扫描距离(d)改变时也产生所述周期性的探测器信号。