| 发明名称 | 低成本金属-绝缘体-金属电容器 | ||
| 摘要 | 一种器件包括基板上的顶部金属层；顶部金属层中的含铜金属部件；在顶部金属层上的钝化层；和电容器。电容器包括至少一部分在第一钝化层中的底部电极，其中底部电极包括铝；底部电极上的绝缘体；以及在绝缘体上的顶电极。 | ||
| 申请公布号 | CN102456751A | 申请公布日期 | 2012.05.16 |
| 申请号 | CN201110325882.5 | 申请日期 | 2011.10.21 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 周淳朴;卢泽华 |
| 分类号 | H01L29/92(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/92(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人 | 陆鑫;高雪琴 |
| 主权项 | 一种装置，包括：基板；在所述基板上方的顶部金属层；在所述顶部金属层中的含铜金属部件；在所述顶部金属层上方的第一钝化层；以及电容器，包括：底部电极，包括位于所述第一钝化层中的至少一部分；其中所述底部电极包含铝；在所述底部电极上方的绝缘体；以及在所述绝缘体上方的顶部电极。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||